GPC3000壓力流量控制器主要為電容壓力計提供電源（±15VDC），接收并顯示來自它的壓力信號，連接節(jié)流閥，并使用PID或自整定功能控制壓力。其中，如果使用自整定功能，則通過檢測流入腔室的氣體量、泵速、閥位引起的真空壓力變化等重要參數(shù)來獲取壓力控制因素。如果用戶使用此功能來控制壓力，可以更快地達(dá)到所需壓力。內(nèi)置兩個過程限位繼電器，幫助用戶設(shè)備過程。

• 作為一個選項，GPC3000 有一個PCB 卡，至多可連接4 個MFC，每個PCB 包含2 個通道（連接2 個MFC）。
• GPC3000 的設(shè)計非常方便且易于通過本地（前面板）、I/O 或RS-232 遠(yuǎn)程（RS-485 選項）進(jìn)行控制。

• 壓力輸入信號：標(biāo)準(zhǔn)：0-10 VDC
• 所需輸入功率：90-132 或 180-264 VAC，50/60 赫茲
• 控制器重復(fù)性：±0.1% FS
• 輸出功率：±15 VDC  ±5% @ 1.5 安培
• 模擬輸出信號：0-10 VDC 用于 0-100% 閥門位置和 0-10 VDC 用于 1-100%，F(xiàn)S 壓力
• 尺寸：1/2-機(jī)架包裝：88mm H x 241mm W x 225 D