HPD 4 K 低溫晶圓探針是一種高精度全自動探針臺，適用于 4 K 環(huán)境中的 150 毫米和 200 毫米基板。為了加速商用量子和超導(dǎo)計算機的實現(xiàn)，我們?yōu)樾酒_發(fā)人員提供了智能迭代設(shè)計所需的工具。4 K 低溫晶圓探測器集成了可配置的 DC 和 RF 電纜，以及可用于測試配置的更大靈活性的定制探針卡。具有集成磁屏蔽的穩(wěn)健設(shè)計提供了必要的穩(wěn)定環(huán)境條件，以確保為敏感的超導(dǎo)設(shè)備提供高質(zhì)量的數(shù)據(jù)。全自動晶圓裝載和復(fù)雜的 Velox 軟件套件允許進行高吞吐量測試和無人值守操作，以快速獲取數(shù)據(jù)。FormFactor 長期的探測知識和數(shù)十年的準(zhǔn)確低溫經(jīng)驗在該系統(tǒng)中相結(jié)合，將超導(dǎo)設(shè)備的測試和測量從實驗室?guī)刖A廠。

環(huán)境控制

• 晶圓溫度驗證 <4.5 K（44 個射頻探頭接觸）
• 磁場抑制<200 nT
• 高度均勻的晶圓溫度
• 準(zhǔn)確的熱穩(wěn)定性和控制
• 堅固的花崗巖底座結(jié)構(gòu)可實現(xiàn)準(zhǔn)確的運動和振動控制

靈活性

• 輕松更換可定制的探針卡
• 可配置為 150 毫米或 200 毫米晶圓
• 多達 56 個射頻同軸電纜（高達 18 GHz）
• 多達 520 條直流線路

自動化

• 全自動晶圓裝載或手動選項
• 用于手動、半自動或全自動探測的完整軟件套件

數(shù)據(jù)獲取時間

• 25 個晶圓盒容量，用于全自動測試
• 每個晶圓約 15 分鐘的冷卻時間
• 用于快速模具到模具運動的高速運動平臺

用于快速穩(wěn)定時間的剛性運動堆棧

量子計算、超導(dǎo)芯片開發(fā)、量子信息科學(xué)