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產(chǎn)品介紹
VYPER 系列激光器是專為準分子激光退火 (ELA) 設(shè)計的多光束高功率準分子激光器。高分辨率移動顯示器制造的高質(zhì)量需求需要高品位低溫多晶硅 (LTPS)，該多晶硅 (LTPS) 只能使用準分子激光器制造。
這些激光器非常適合高功率 LineBeam 750 (VYPER)、LineBeam 1000 (TwinVYPER) 和 LineBeam 1500 (TriVYPER) 光學(xué)器件。
性能特點
- 非常高的UV 功率，可實現(xiàn)高通量應(yīng)用
- 能量穩(wěn)定性，確保高產(chǎn)量
- EquiSwitch 同步提供低的抖動
- 激光數(shù)據(jù)采集可實現(xiàn)過程控制
- 密封和凈化的光束路徑，可實現(xiàn)穩(wěn)定的長期運行
- 用于控制和快速數(shù)據(jù)采集的以太網(wǎng)接口
技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)品尺寸
產(chǎn)品應(yīng)用
準分子激光退火
脈沖激光沉積
滬公網(wǎng)安備31011302006898號
