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產(chǎn)品介紹
基于強大的 COMPex 準分子激光器的系統(tǒng)是用于具有線光束或方形光束場形狀的高質(zhì)量 UV 微加工的靈活工具。
光學設(shè)計、堅固的機械結(jié)構(gòu)和具有脈沖間穩(wěn)定性的準分子激光器可提供非常準確的結(jié)果。應(yīng)用包括激光剝離 (LLO) 分離、摻雜劑離子激活、燒蝕圖案化和薄膜退火。
性能特點
- 高分辨率光學和機械結(jié)構(gòu)確?？芍貜?fù)的結(jié)果
- 模塊化設(shè)計，提供靈活使用的定制選項
- 方光束和線光束場以獲得更優(yōu)的結(jié)果
- 支持所有 COMPex 激光器型號以實現(xiàn)有效率的加工
技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)品尺寸
產(chǎn)品應(yīng)用
激光剝離分離
摻雜離子激活
燒蝕圖案
準分子激光退火
滬公網(wǎng)安備31011302006898號
