自1989年以來，客戶一直依賴UHP150系列的可靠性和性能。除了全焊接結(jié)構(gòu)外，該系列還配備了全不銹鋼傳感器。UHP150系列采用了沃斯科的專有制造方法，消除了所有泄漏路徑。該系列是處理腐蝕性介質(zhì)的好的開關(guān)，精度高，公差小。

我們?yōu)檩^高純度應(yīng)用(如半導(dǎo)體設(shè)備)設(shè)計了UHP150系列。UHP150系列不含任何彈性體或O型圈。根據(jù)SEMI F1，所有開關(guān)都經(jīng)過氦泄漏測試，達(dá)到≤ 1 x 10-9標(biāo)準(zhǔn)立方厘米/秒。UHP150系列在100級潔凈室中制造和包裝。

煤氣箱

臭氧系統(tǒng)

氣體分配系統(tǒng)

半導(dǎo)體設(shè)備

醫(yī)療設(shè)備

氣體過濾系統(tǒng)